Aplicação de produtos de grafite na indústria de silício monocristalino e policristalino

1. introdução de produtos de grafite

Devido à sua estrutura especial, os produtos de grafite têm muitas características, como resistência a altas temperaturas, resistência ao choque térmico, condutividade elétrica, lubricidade, estabilidade química e plasticidade. Os produtos de grafite, como anéis de grafite e barcos de grafite, têm uma ampla gama de aplicações. Especialistas internacionais uma vez previram que "o século 20 será o século do silício, e o século 21 será o século do carbono".

2. Compreender a aplicação de produtos de grafite na indústria de silício monocristalino e policristalino

O desenvolvimento de semicondutores é inseparável da aplicação de materiais de grafite na indústria de semicondutores. Na indústria de semicondutores, um grande número de materiais de grafite de alta pureza são usados no sistema de aquecimento de fornos de cristal único. No processamento de wafer semicondutor (incluindo fusão de zona, epitaxia, processamento de contorno, etc.), os materiais de grafite são ferramentas e peças auxiliares, e wafers de silício semicondutores usados na produção de materiais de polissilício são usados como ferramentas e peças auxiliares. Produtos de grafite usados em engenharia eletrônica, comoBloco de grafite grande, Deve primeiro ser aplicado na indústria de semicondutores. Entrando no século 21, a indústria fotovoltaica se desenvolveu rapidamente, e a produção e o mercado de materiais de lingote de silício policristalino usados para células solares experimentaram um rápido crescimento.

As peças do produto de grafite usadas no forno de cristal único Czochralski, comoBloco de grafite isostáticoSão peças consumíveis, que são processadas a partir de uma variedade de grafitos de alta pureza. Peças de grafite, como cadinhos de grafite, usam grafite de estrutura fina de alta pureza; aquecedores de grafite usam grafite isotrópico de alta pureza; cobertura isolante de grafite e cobertura de grafite usam estrutura de partículas de grafite de alta pureza. Na produção de unidades de lingote de silício policristalino, existem vários componentes que requerem material de grafite. Em particular, o material de aquecimento usado no aquecedor de forno de lingote-grafite de alta pureza e o material de isolamento térmico-material de isolamento de feltro de carbono de alta pureza, são materiais de suporte indispensáveis e importantes em equipamentos de lingote de polissilício.

Devido à alta temperatura de aquecimento do aquecedor do forno de lingote (acima de 1600 ° C), o material de aquecimento não pode reagir com o material de silício e não poluirá o material de silício, e deve ser usado em vácuo e gás inerte. Um longo tempo. Os aquecedores são baseados em condições de uso, como tungstênio metálico, molibdênio e grafite não metálico. No entanto, o tungstênio e o molibdênio são caros e difíceis de processar, e o grafite pode ser processado em várias formas de produtos de grafite. Além disso, a grafite também tem as características de pequena inércia térmica, aquecimento rápido, resistência a altas temperaturas, resistência a choques térmicos, grande área de radiação, alta eficiência de aquecimento e desempenho estável. Por causa disso, o material de grafite tornou-se o material de aquecimento preferido em aquecedores de forno de lingote.